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激光共聚焦顯微鏡在膜厚三維測量中是如何提高工作效率的

返回列表 來源:本站 發(fā)布日期:2023-11-29 10:46:48【

需要在高度方向上做掃描,得到一系列的切片圖,然后進行圖像疊加并得到三維圖像,從而提高景深范圍。相對于傳統(tǒng)的光學顯微鏡,激光共聚焦顯微鏡其橫向分辨率提高40%以上,**可達120nm。激光共聚焦顯微鏡樣品適用性強,非接觸測試,無需樣品制備和導電性處理,對樣品無損傷(粉末、軟性樣品以及透明樣品均可測試)。激光共聚焦顯微鏡豐富的測量結果,高分辨二維及三維成像、多種二維及三維顯示結果對比、大面積圖像拼接、非接粗糙度測量、膜厚測量、熒光分析等。簡便的操作及維護,激光共聚焦顯微鏡無昂貴的耗材、模塊化設計、人性化的操作軟件、自動校正程序等。

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激光共聚焦顯微鏡在提高有效信號的基礎上,大大降低噪音信號,使得高質量的熒光圖像成為可能。利用“對焦(焦點)時反射光量*大”這一共焦原理的顯微鏡測量精度,會受到正確讀取反射光量峰值的能力的較 大影響。構成共焦光學系統(tǒng)的方式有很多。有些形狀測量激光顯微系統(tǒng)所采用的“針孔共聚焦方式”。針孔共聚焦方式是在光接收元件的前面設計了針孔。針孔的直徑僅為數(shù)十μm,其功能是在不對焦時切斷反射光。,通常的光學系統(tǒng)和激光共焦點光學系統(tǒng)的反射光均會進入光接收元件。觀察“未對焦時”,通常光學系統(tǒng)的反射光(焦點模糊光線)會進入光接收元件,但激光共焦點光學系統(tǒng)的反射光(焦點模糊光線)則會被針孔切斷。即只有在對焦時反射光才會進入光接收元件,以此為依據(jù)構成共焦光學系統(tǒng)。

無論是材料表面形貌組織結構分析,還是表面輪廓度,激光共聚焦顯微鏡都可以呈現(xiàn)細節(jié)清晰、高襯度的圖像。增強靈敏度,減少背景噪音是激光共聚焦顯微鏡在G端應用的先決條件。激光共聚焦顯微鏡優(yōu)越的靈敏度、杰出的降噪音技術和激發(fā)激光技術,也能保證輸出較好的結果。

激光共聚焦顯微鏡更少的機械運動,尤其是在光譜成像時,以及更穩(wěn)定的設計,保證提供更快的、不間斷的令人信服的實驗結果。整合多個個檢測器在共聚焦中,可以可靠而無偏離的重現(xiàn)用戶的測量。平行光譜檢測可以在波長模式下同時讀出通道更多的的信號。另外,其特殊的采集模式可以將光譜分辨率大大提高。

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