共聚焦顯微鏡其J端的傾角形貌測量功能能清晰呈現(xiàn)復雜結構的細節(jié),在形貌測量方面具有顯著優(yōu)勢。
在微納檢測領域,共聚焦顯微鏡具有的納米級別縱向分辨能力,在相同物鏡放大的條件下橫向分辨率更高,能夠清晰地展示微小物體的圖像形態(tài)細節(jié),顯示出精細的細節(jié)圖像。共聚焦顯微鏡依托弱光信號解析算法可以完整重建出近70°陡峭的復雜的結構形狀,如對太陽能電池片微觀結構進行三維形貌重建:
共聚焦顯微鏡高速并行掃描技術、共焦三維重建技術、復合真彩渲染技術三大核心技術結合,能夠提供色彩斑斕的真彩圖像,使觀察者能夠更清楚地看到樣品表面細節(jié),洞悉樣品表面的每一個特征。
在形貌測量方面,不管是光滑表面還是粗糙表面,低反射率還是高反射率,都能提供精確的形貌測量參數(shù),其測量參數(shù)包括樣品表面的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。
軟件界面簡潔易操作,無需復雜的樣品前處理,只需將樣品放置在顯微鏡的載物臺上,通過軟件自帶的三維形貌測量功能即可進行專業(yè)測量。此外,軟件還自帶圖像處理分析功能,可以對測量數(shù)據(jù)進行進一步的分析和處理,如輪廓分析、平面分析、體積分析、粗糙度分析、統(tǒng)計分析等。
綜上所述,共聚焦顯微鏡的尖銳傾角形貌測量能力能夠清晰地呈現(xiàn)出復雜結構的細節(jié),其操作簡單方便,軟件界面清晰易懂。這些優(yōu)勢使得共聚焦顯微鏡成為一種強大的微納檢測工具,適用于各種表面形貌特征的測量和分析。