天津微儀光學(xué)儀器有限公司顯微鏡自動化的多元化高科技企業(yè)
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近日，南京大學(xué)公布2022年11至12月政府采購意向，其中意向采購聚焦離子束系統(tǒng)、原子力顯微鏡和高分辨掃描電子顯微鏡與陰極熒光系統(tǒng)，總預(yù)算金額1340萬元人民幣。
| 采購單位 | 采購項目 | 采購品目 | 采購需求概況 | 預(yù)算金額 | 預(yù)計 |
| 名稱 | (萬元) | 采購日期 | |||
| 南京大學(xué) | 原子力顯微鏡 | A02100301 顯微鏡 | 采購原子力顯微鏡1臺，要求具備樣品表面形貌的原子力掃描成像功能，主要用于半導(dǎo)體材料與器件形貌的表征。通過探針針尖的原子力作用掃描樣品表面，獲得包括高度、力學(xué)、電學(xué)和粗糙度等信息。 設(shè)備主要由以下幾部分組成：測試主機(jī)、顯微系統(tǒng)、控制主機(jī)、控制系統(tǒng)與軟件、配套附件等。 具備多種工作模式：包括但是不限于 接觸模式；輕敲模式；自動掃描模式；磁力顯微鏡；橫向力顯微鏡；相位成像。具備大范圍的樣品水平掃描能力；具備大范圍的Z軸掃描能力，具有智能自動進(jìn)針方式，附帶正版操作系統(tǒng)與軟件，可放置樣品*大支持8寸，向下兼容，具備高分辨同軸直視光學(xué)系統(tǒng)：在操作原子力顯微鏡的同時，可獲得光學(xué)圖像；配備主動電磁式防震平臺， 隨設(shè)備提供滿足設(shè)備質(zhì)保期內(nèi)正常使用的常用備件與耗材，包括用于8英寸及以下尺寸晶圓和不規(guī)則小片的托盤和夾具等。 質(zhì)保期：自設(shè)備驗收之日起至少1年，質(zhì)保期內(nèi)提供全免費保修。在質(zhì)保期滿后繼續(xù)提供技術(shù)支持。 交貨地點：南京大學(xué)仙林校區(qū)。 售后服務(wù)響應(yīng)要求：供應(yīng)商必須保證快速的服務(wù)響應(yīng)，得到通知后，應(yīng)在4小時內(nèi)提供技術(shù)支持。需要上門服務(wù)的，應(yīng)在72小時內(nèi)趕到現(xiàn)場。 培訓(xùn)要求：設(shè)備及其中的重要部件應(yīng)附帶使用手冊。設(shè)備安裝、調(diào)試、驗收完成后，供應(yīng)商對采購人的設(shè)備管理、維護(hù)人員進(jìn)行免費培訓(xùn)，包括軟件、硬件的操作和日常維護(hù)、典型應(yīng)用工藝。 | 200 | 2022年12月 |
| 南京大學(xué) | 聚焦離子束系統(tǒng) | A02100305 電子光學(xué)及離子光學(xué)儀器 | 采購聚焦離子束系統(tǒng)1臺，具備樣品表面形貌的掃描電子顯微成像功能和聚焦離子束加工能力，主要用于半導(dǎo)體材料與器件形貌的表征，TEM制樣和圖形定制。通過高分辨的掃描電子圖像，獲得包括高度、材料、電學(xué)和粗糙度等信息。搭配離子束源加工系統(tǒng)，能夠?qū)悠愤M(jìn)行圖形加工。搭配能譜儀EDS，能夠?qū)崿F(xiàn)掃描圖像與元素分析的對應(yīng)關(guān)系。具備液態(tài) Ga 離子源，電子槍類型為肖特基場發(fā)射燈絲；配備獨立二次電子探測器，配備鏡筒內(nèi)獨立二次電子探測器；配備CCD 相機(jī)系統(tǒng)；可實現(xiàn)二次電子信號與背散射信號同時成像；擁有至少1支獨立的單氣體注入系統(tǒng)，全無油真空系統(tǒng)；配備 UPS 電源系統(tǒng)。配置操作系統(tǒng)，至少兩臺 24” LCD 顯示器；帶有旋鈕控制面板鍵盤、鼠標(biāo), 控制樣品臺的遙感操作系統(tǒng)。配置能譜儀EDS一套，配置主動式減震臺一套，包括用于6英寸及以下尺寸晶圓和不規(guī)則小片的托盤和夾具等。質(zhì)保期：自設(shè)備驗收之日起至少1年，質(zhì)保期內(nèi)提供全免費保修。在質(zhì)保期滿后繼續(xù)提供技術(shù)支持。 交貨地點：南京大學(xué)仙林校區(qū)。售后服務(wù)響應(yīng)要求：供應(yīng)商必須保證快速的服務(wù)響應(yīng)，得到通知后，應(yīng)在4小時內(nèi)提供技術(shù)支持。需要上門服務(wù)的，應(yīng)在72小時內(nèi)趕到現(xiàn)場。 培訓(xùn)要求：設(shè)備及其中的重要部件應(yīng)附帶使用手冊。設(shè)備安裝、調(diào)試、驗收完成后，供應(yīng)商對采購人的設(shè)備管理、維護(hù)人員進(jìn)行免費培訓(xùn)，包括軟件、硬件的操作和日常維護(hù)、典型應(yīng)用工藝。 | 650 | 2022年12月 |
| 南京大學(xué) | 高分辨掃描電子顯微鏡與陰極熒光系統(tǒng) | A02100301 顯微鏡 | 采購高分辨掃描電子顯微鏡與陰極熒光系統(tǒng)1套，具備樣品表面形貌的掃描電子顯微成像功能，用于半導(dǎo)體材料與器件形貌的表征。通過高分辨的掃描電子圖像，獲得包括高度、材料、電學(xué)和粗糙度等信息。能夠?qū)崿F(xiàn)二次電子成像；搭配陰極熒光測試系統(tǒng)，能夠?qū)悠返陌l(fā)光性能進(jìn)行分析表征。能夠?qū)崿F(xiàn)掃描圖像與陰極熒光光譜的對應(yīng)。 具備低電壓配備電子束減速模式，配置樣品電流監(jiān)視器，無油機(jī)械泵，磁懸浮渦輪分子泵和離子泵。至少2臺24”LCD顯示器，計算機(jī)系統(tǒng)附帶專業(yè)Windows 操作系統(tǒng)，預(yù)留光電關(guān)聯(lián)接口。配置陰極熒光光譜儀探測器一套 配置主動減震臺，配置液氮冷凍裝置 一套，隨設(shè)備提供滿足設(shè)備質(zhì)保期內(nèi)正常使用的常用備件與耗材，包括用于6英寸及以下尺寸晶圓和不規(guī)則小片的托盤和夾具等。質(zhì)保期：自設(shè)備驗收之日起至少1年，質(zhì)保期內(nèi)提供全免費保修。交貨地點：南京大學(xué)仙林校區(qū)。 供應(yīng)商必須保證快速的服務(wù)響應(yīng)，得到通知后，應(yīng)在4小時內(nèi)提供技術(shù)支持。需要上門服務(wù)的，應(yīng)在72小時內(nèi)趕到現(xiàn)場。設(shè)備及其中的重要部件應(yīng)附帶使用手冊。設(shè)備安裝、調(diào)試、驗收完成后，供應(yīng)商對采購人的設(shè)備管理、維護(hù)人員進(jìn)行免費培訓(xùn)，包括軟件、硬件的操作和日常維護(hù)、典型應(yīng)用工藝。 | 490 | 2022年12月 |
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